沉积炉热场套件

沉积炉热场套件包含热场调节环和支撑杆，依托高端等静压石墨一体成型工艺、高性能碳碳复合材料成型技术打造，整套套件用于盛装和加热待处理材料，适配高温CVD全域工艺场景。在千度级高温沉积环境中，套件可长效锁定炉内热场平衡，保障待处理工件高温下的稳定性，实现全域均匀加热；套件结构预留标准化导流气路通道，为工艺气体提供平顺、均衡的流通空间，确保沉积均匀度，有效降低产品色差、厚薄不均、局部沉积缺陷等，显著提升成品良率。可用于石墨、陶瓷基板材、碳碳板材等产品的生产。

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所属分类

碳碳/碳陶产品

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产品描述

主要用途与适用范围：

沉积炉热场套件包含热场调节环和支撑杆，依托高端等静压石墨一体成型工艺、高性能碳碳复合材料成型技术打造，整套套件用于盛装和加热待处理材料，适配高温CVD全域工艺场景。在千度级高温沉积环境中，套件可长效锁定炉内热场平衡，保障待处理工件高温下的稳定性，实现全域均匀加热；套件结构预留标准化导流气路通道，为工艺气体提供平顺、均衡的流通空间，确保沉积均匀度，有效降低产品色差、厚薄不均、局部沉积缺陷等，显著提升成品良率。可用于石墨、陶瓷基板材、碳碳板材等产品的生产。

支撑杆主要起到承载工件的作用，每个支撑杆上开有精准定位卡槽，卡槽经过高精度 CNC 精加工，公差控制精准，确保卡合无松动、对位无偏移。使用时将支撑杆卡入热场调节环的配套卡槽内，卡合无松动、对位无偏移，将平板工件平稳置入支撑杆卡槽上，多层工件可分层排布，空间利用率高，单批次加工产能大幅提升。

材质介绍：

1、热场调节环-等静压石墨

调节环采用高纯度等静压石墨原料，经超高温石墨化提纯、冷等静压一体成型，整体无粘结界面，组织结构各向同性。成型坯料经多道精密车铣、研磨精加工，内部气孔率极低，晶粒细微均匀。成型优势：

a.各向同性热传导性能，无方向性导热偏差，全域热场均衡度高；

b.优异抗热震性能，急冷急热不开裂、不掉渣，杜绝粉尘污染；

c.高温化学惰性极强，适配高纯半导体及特种涂层工艺。

2、支撑杆-碳碳复合材料

支撑杆采用连续碳纤维预制体复合树脂浸渍-烧结成型，经高温碳化、致密化循环增密处理成型，区别于普通石墨杆：

a.轻量化高强度，大幅降低炉体承重负荷；

b.高温抗弯、抗蠕变性能优异，长期高温承重不变形、不下垂，长期循环使用尺寸稳定；

c.低热膨胀系数，冷热交替工况下形变量小，保障工件定位精度的长期可靠性。

产品规格：

项目	主要参数
有效尺寸	Φ750*730（mm）
调节环材质	等静压石墨
调节环密度	≥1.82g/cm3
支撑板材质	碳碳复合材料
支撑板密度	≥1.5 g/cm3

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